|
Разбавление фоторезиста практикуется с целью уменьшения толщины пленки фоторезиста на подложке.
Хотя производители фоторезистов обычно предлагают серию фоторезистов одной и той же марки с различными толщинами пленок,
тем не менее, иногда приходится прибегать к разбавлению фоторезиста. В этом случае используется разбавитель,
пригодный для данной марки фоторезиста.
- Не изменять при разбавлении соотношение смеси растворителей, входящих в состав фоторезиста.
- Содержать необходимые аддитивы для сохранения реологических свойств разбавленного фоторезиста
(розлив, разнотолщинность пленки, удаление пузырьков воздуха).
- Уровень фильтрации разбавителя должен соответствовать уровню фильтрации фоторезиста.
В общем случае разбавитель должен удовлетворять следующим условиям:
| Сольвент РПФ-У |
ФП-10Ф, ФП-15Ф, ФП-20Ф, ФП-М-09, ФП-РН-7С, ФП-4-04, ФП-051Ш, ФП-9120 |
Серия S1800, Серия AZ-1500, Серия AZ-6600 |
| Сольвент РПФ-383 |
ФП-383 |
|
| Сольвент РПФ-25 |
ФП-25, ФП-201, ФП-4-04Т |
|
| Сольвент РПФ-Cэ |
ФП-РН-7Сэ |
|
Мы предлагаем перечень разбавителей пригодных для уменьшения толщины пленки различных позитивных фоторезистов,
как отечественных, так и импортных:
|
