СНИМАТЕЛЬ ПЛЕНОК ФОТОРЕЗИСТОВ

Сниматель пленок фоторезистов СПР-01Ф

Пленки фоторезистов, не прошедшие термообработки при высоких температурах легко удаляются с подложки обычными растворителями.

Однако во многих случаях удаление пленки фоторезиста представляет проблему:

1. После обработки при температурах свыше 130 ⁰С пленка фоторезиста термически сшивается, с образованием трехмерной структуры. Обработка при таких температурах является обычным процессом, когда требуется высокая устойчивость пленки к травителю. Кроме того, такие температуры развиваются в процессах термического напыления металлических слоев и в процессах сухого травления через резистивную маску.
2. После облучения пленки глубоким ультрафиолетом ( длина волны менее 250 нм), что наблюдается при напылении металлов и при сухом травлении
3. После проведения взрывной литографии

Во всех этих случаях используют специальные сниматели ( стрипперы) пленок фоторезистов.

Сниматель пленок резистов в производстве полупроводниковых структур должен соответствовать определенным требованиям:

1. Разрыхлять сильно структурированную пленку.
2. Хорошо растворять компоненты структурированной пленки, не оставлять следов нерастворенных веществ на подложке.
3. Не реагировать с нанесенным металлом.
4. Обеспечивать возможность нагрева раствора до высоких температур.
5. Иметь уровень фильтрации не хуже 1 мкм

В отечественной микроэлектронике для снятия пленок позитивных фоторезистов используются главным образом два типа снимателя:

• концентрированный раствор щелочи, например 3% раствор в воде NaOH
• N,N-диметилформамид

Оба этих снимателя обладают серьезными недостатками. Щелочной раствор нельзя использовать на подложках арсенид галлия или содержащих металлы, а применение N,N-диметилформамида требует соблюдения особых мер безопасной работы.

Применение снимателя СПР-01Ф является более эффективным и более безопасным. Обратимся к следующей сравнительной таблице:

Как видно из таблицы N,N-диметилформамид недопустимо нагревать свыше 50 ⁰С из-за опасности вспышки паров в воздухе, тогда как сниматель СПР-01Ф выдерживает нагрев до 80 ⁰С. Предельно допустимые концентрации в воздухе (ПДК) для диметилформамида в пять раз хуже, чем для снимателя СПР-01Ф, а LD₅₀ (50% гибель крыс после глотания) хуже на 40%. Давление насыщенного пара у N,N-диметилформамида при комнатной температуре почти в 7,5 раза выше, чем у снимателя СПР-01Ф, что сопровождается резким неприятным запахом диметилформамида. Сниматель СПР-01Ф не имеет запаха.

Совокупность этих данных демонстрирует, что сниматель СПР-01Ф и технически и экологически намного безопаснее, чем N,N-диметилформамид. По этой причине на Западе не используется N,N-диметилформамид в качестве снимателя.

Сниматель СПР-01Ф является нейтральной смесью высококипящих растворителей N-метил- Ƴ-бутиролактама и метилкарбитола

Краткая инструкция

1. Условия безопасной работы со снимателем СПР-01Ф аналогичны условиям работы с органическими растворителями.
2. Для снятия пленки фоторезиста, не прошедшей термообработку после проявления достаточно погрузить подложку с пленкой в сниматель СПР-01Ф на 5 минут и затем подложку промыть водой.
3. Для пленок фоторезистов, прошедших термообработку при температурах 130-150 ⁰С, может потребоваться нагрев снимателя СПР-01Ф вплоть до 80 ⁰C, выдержка пленки в снимателе до 15 мин и промывание водой. Время выдержки в снимателе зависит от степени сшивки пленки фоторезиста и определяется экспериментально.