|
При проявлении
негативных фоторезистов возникает
проблема визуализации изображения.
Негативные фоторезисты представляют собой
бесцветный раствор. Пленка негативного
фоторезиста толщиной 1-2 мкм на подложках
невидима. Полученный рисунок на подложке
после проявления также невидим. Это
существенно затрудняет контроль над
качеством экспонирования и проявления.
Для решения этой проблемы
предлагается использовать для проявления
окрашенный в черный цвет проявитель ПН-1Ф,
взамен стандартного проявителя уайт-спирит.
При проявлении краситель, входящий в состав
проявителя ПН-1Ф проникает в пленку
фоторезиста, что обеспечивает контрастный
рисунок. Проявитель ПН-1Ф представляет
собой жидкость черного цвета с диапазоном
кипения 135-195 градусов Цельсия и плотностью
0,75-0,85 г/куб. см.
Срок поставки проявителя
ПН-1Ф - 2 месяца после оплаты.
|
