|
Под комплектующими для фоторезистов подразумеваются сопутствующие химические реактивы или растворы,
которые используются на разных стадиях фотолитографического процесса. К этим реактивам относятся:
промотеры адгезии, проявители, сниматели, травители.
Отечественными комплектующими материалами являются универсальный буферный проявитель УПФ-1Б для позитивных
фоторезистов, проявитель для голографии ПГФ-1А, сниматель
для позитивных фоторезистов СПР-01Ф, сниматель для негативных фоторезистов Форсан-2,
промотер адгезии √гексаметилдисилазан
Комплект поставки:
- Реактив в фирменной упакове
- Технический сертификат поставщика
- Сертификат безопасности (перевод MSDS)
|
