|
Выполняя
пожелания ряда предприятий микроэлектроники снизить цены на фоторезисты в 2009
г., мы оптимизировали составы и схемы фильтрации и запускаем в производство новую серию высококачественных позитивных
фоторезистов для контактной и проекционной фотолитографии.
Цены фоторезистов:
ФП-М-09А - 950 руб за 1 кг (без НДС).
ФП-М-09В - 1070 руб за 1 кг (без НДС).
ФП-М-09С - 1180 руб за 1 кг (без НДС).
Фоторезисты
обладают великолепной адгезией к полупроводниковым поверхностям и металлам,
высоким контрастом,
светочувствительностью и разрешением. Фоторезисты чувствительны в диапазоне длин
волн 350-450 нм и могут использоваться как для контактной, так и для
проекционной фотолитографии.
Для
проведения испытаний мы предоставляем бесплатно образец фоторезиста и подробную
инструкцию по применению.
Таблица 1. Параметры фоторезистов
|
1
|
Внешний вид фоторезиста
|
Жидкость темно-красного цвета
|
|
2
|
Внешний вид пленки фоторезиста
|
Гладкая без радиальных полос
|
|
3
|
Разрешающая способность, мкм, не более
|
0,6
|
0,8
|
1,2
|
|
4
|
Толщина пленки фоторезиста, мкм
|
0,9-1,1
|
1,5-1,6
|
1,9-2,1
|
|
5
|
Кинематическая вязкость, сСт
|
10,5-21,0
|
15,1-35,0
|
21,0-41,0
|
|
6
|
Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее
|
60,0
|
60,0
|
60,0
|
|
7
|
Локальная разнотолщинность пленки, нм, не более
|
10
|
10
|
10
|
|
8
|
Светочувствительность, мдж/см2, не
хуже
|
40
|
55
|
70
|
|
9
|
Уровень фильтрации, в мкм
|
0,2
|
0,2
|
0,2
|
|
10
|
Проявитель
|
УПФ-1Б
|
Таблица 2. Зависимость толщины пленки от скорости вращения центрифуги
Отзывы наших потребителей
|
