| Автор: Николай | 2007-03-20 10:03:09 | |||
| Тема: Re: азотная кислота | ||||
|
||||
|
Аэрозольный фоторезист устойчив к азотной кислоте, если ввести дополнительную стадию - задубливание фоторезиста (после проявления и до травления). Условия задубливания: 130 - 140 градусов Цельсия, 40 мин. |
||||