Автор: Николай 2007-03-20 10:03:09  
  Тема: Re: азотная кислота
---
 
Аэрозольный фоторезист устойчив к азотной кислоте, если ввести дополнительную
стадию - задубливание фоторезиста (после проявления и до травления).
Условия задубливания: 130 - 140 градусов Цельсия, 40 мин.